SiC Keramik

Keramik SiC beuki loba dipaké dina parabot semikonduktor, utamana kusabab tahan leuwih alus dina kaayaan anu leuwih hésé. Nalika suhu jadi luhur atawa prosésna jadi leuwih agrésif, bahan kawas kuarsa atawa silikon bisa mimiti némbongkeun watesna, jeung biasana di dinya SiC dipaké. Dina prosés tungku saperti oksidasi atawa difusi, bagian kawas parahu wafer atawa dayung anu dijieun tina SiC condong leuwih awét. Éta ngajaga bentukna jeung teu mawa loba kontaminasi, sanajan geus lila dipaké. Jalma-jalma mindeng ngaganti tina kuarsa pikeun alesan ieu, utamana nalika pangropéa jadi sering teuing.

Pikeun ngetsa, SiC sering dipilih kusabab tahan leuwih lila dina plasma. Bédana umur hirup dibandingkeun sareng bagian silikon katingali dina seueur setelan, sanaos masih gumantung kana prosés anu pasti. Éta ogé ngabantosan sakedik dina kontrol partikel, anu janten langkung sénsitip nalika simpul ngaleutikan. Anjeun ogé bakal ningali SiC dianggo salaku susceptor dina MOCVD atanapi CVD. Dina kasus éta, éta kirang ngeunaan "kakuatan" sareng langkung seueur ngeunaan ngajaga paripolah suhu stabil. Di luar éta, éta muncul dina bagian kamar sapertos liner atanapi pancuran, sareng kadang-kadang dina penanganan komponén ogé.