Grafit porous kamurnian luhur

Grafit porous anu mibanda kamurnian luhur mangrupikeun bahan anu penting pikeun manufaktur semikonduktor canggih, dimana stabilitas termal anu luar biasa, tingkat kontaminasi anu ultra-rendah, sareng konsistensi prosés mangrupikeun hal anu paling penting. Solusi grafit porous anu mibanda kamurnian luhur ti Semixlab dirancang khusus pikeun prosés semikonduktor anu sénsitip kana suhu luhur sareng kontaminasi.

Dina prosés epitaksi, grafit porous murni anu luhur seueur dianggo dina komponén konci sapertos wadah substrat, pembawa wafer, struktur distribusi gas, sareng unsur médan termal. Salila kamekaran epitaksial Si, SiC, sareng GaN, keseragaman suhu anu tepat sareng aliran gas anu stabil mangrupikeun faktor penting pikeun kontrol ketebalan pilem, keseragaman doping, sareng panurunan cacad. Mikrostruktur porous grafit Semixlab ngamungkinkeun distribusi termal anu langkung seragam sareng difusi gas anu dikontrol di sakumna permukaan wafer, sahingga ngirangan ketidakstabilan lapisan wates sareng épék ujung.

Salila prosés difusi sareng oksidasi anu meryogikeun operasi anu berkepanjangan di luhur 1000 °C, grafit porous anu murni ngalayanan salaku bahan struktural sareng pangrojong anu tiasa dipercaya pikeun parahu wafer, liner, sareng komponén insulasi termal. Dibandingkeun sareng grafit anu padet, struktur porousna ngirangan setrés termal sareng deformasi salami siklus termal anu diulang, ningkatkeun stabilitas diménsi sareng manjangkeun umur komponén. Inertitas kimiawi anu aya sareng eusi pangotor anu handap ngabantosan ngajaga lingkungan prosés anu bersih, ngadukung kontrol anu ketat kana profil difusi dopan sareng kualitas pilem oksida bari ngaminimalkeun résiko generasi partikel sareng kontaminasi silang.

Pikeun prosés CVD, LPCVD, sareng PECVD, grafit porous anu mibanda kemurnian luhur maénkeun peran penting dina pemanas, pembawa wafer, sareng komponén ruang internal anu kakeunaan gas réaktif sareng suhu anu luhur. Konduktivitas termal bahan anu saé mastikeun transfer panas anu gancang sareng seragam, sedengkeun struktur porousna ngamungkinkeun néwak produk sampingan déposisi anu dikontrol, ngaminimalkeun pengelupasan sareng pelepasan partikel salami operasi alat anu diperpanjang. Ieu sacara langsung nyumbang kana stabilitas prosés anu ditingkatkeun, interval pangropéa anu diperpanjang, sareng waktos operasi alat anu ningkat.

Grafit porous Semixlab anu mibanda kemurnian luhur diproduksi dina sistem kontrol kualitas anu ketat, kalayan manajemen anu saksama pikeun pamilihan bahan baku, purifikasi, sareng rékayasa mikrostruktur. Nalika umur layanan anu langkung lami atanapi operasi dina lingkungan kimia anu langkung nungtut diperyogikeun, produk ieu cocog sareng lapisan pelindung canggih sapertos SiC atanapi TaC. Ngamangpaatkeun kalenturan desain anu luar biasa, kamampuan mesin, sareng téknologi lapisan semikonduktor canggih, solusi kami tiasa disaluyukeun sacara tepat kana sarat khusus platform peralatan semikonduktor sareng simpul prosés anjeun. Kami tulus ngarepkeun janten mitra jangka panjang anjeun di Cina.