EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
LED Epitaxy Susceptor
Semixlab SiC Coated Graphite Susceptor mangrupakeun komponén precision-direkayasa dirancang pikeun epitaxy LED canggih tur sistem MOCVD. Diwangun ku substrat grafit isostatik dénsitas luhur sareng ditangtayungan ku palapis silikon karbida (SiC) kemurnian tinggi, susceptor ieu nyayogikeun platform termal anu stabil pikeun pemanasan wafer seragam sareng kabersihan kamar jangka panjang dina kaayaan pamrosésan ekstrim ngaleuwihan 1100 ° C. Unggal susceptor ngalaman machining tepat na palapis kontrol uniformity pikeun ngahontal roughness permukaan ultra-lemes handap Ra 0.2 μm, ngaminimalkeun adhesion partikel jeung kaayaan nu teu tenang gas jero reaktor MOCVD. Desain ieu ngaronjatkeun uniformity lapisan epitaxial, manjangkeun umur komponén tur ngurangan frékuénsi pangropéa. Urang kasampak maju ka panalungtikan Anjeun salajengna.
gambaran
Semixlab SiC Coated Graphite Susceptor pikeun LED Epitaxy gaduh dasar grafit dénsitas luhur pikeun stabilitas termal sareng palapis CVD SiC padet (Ra ≤0.2 μm) pikeun résistansi korosi. Struktur ieu ensures mindahkeun panas seragam, inertness kimiawi, sarta reliabilitas jangka panjang dina LED MOCVD epitaxy.
Dina prosés epitaksi LED, susceptor grafit anu dilapis SiC henteu ngan ukur janten wadah wafer mékanis, tapi salaku unsur kontrol termal sareng kimia inti tina sistem MOCVD. Éta tanggung jawab pikeun narjamahkeun énergi termal input tina RF atanapi modul pemanasan résistif kana médan suhu anu disebarkeun sareng stabil dina sababaraha posisi wafer. Konduktivitas termal susceptor anu luhur sareng profil émisi anu dioptimalkeun mastikeun konsistensi wafer-to-wafer sareng suhu intra-wafer - kaayaan penting pikeun ngahontal kontrol anu ketat dina ketebalan pilem GaN sareng AlGaInP, konsentrasi dopan, sareng kualitas kristal.
Dina waktos anu sami, palapis SiC nyayogikeun halangan kimiawi anu kuat anu ngalindungan grafit dasar tina réduksi hidrogén, korosi amonia, sareng réaksi prékursor logam-organik. Perlindungan ieu henteu ngan ukur manjangkeun umur jasa susceptor tapi ogé nyegah sékrési spésiés karbon anu tiasa ngotorkeun lapisan epitaxial anu tumbuh atanapi ngirangan efisiensi bercahaya dina chip LED réngsé. Hasilna nyaéta lingkungan réaksi anu langkung bersih, ngirangan frékuénsi pangropéa, sareng ningkatkeun stabilitas prosés jangka panjang.
Leuwih ti éta, precision permukaan susceptor sarta uniformity geometric maénkeun peran decisive dina ngajaga aliran gas konsisten tur distribusi prékursor dina chamber MOCVD. Malah simpangan halus dina planarity atawa tékstur palapis bisa ngakibatkeun variasi lapisan wates jeung ketebalan pilem localized non-uniformities. Ku ngamangpaatkeun palapis proprietary Semixlab sarta téhnologi finishing permukaan, unggal susceptor ngahontal flatness luar biasa tur simetri, mastikeun dinamika gas seragam, kinetika réaksi optimal, sarta ciri pilem epitaxial bisa diulang.
Intina, Semixlab SiC Coated Graphite Susceptor fungsina salaku penstabil termal sareng tameng kontaminasi, langsung mangaruhan ngahasilkeun LED sareng kualitas bahan. Desain struktural canggih tur téhnologi palapis empower pabrik semikonduktor pikeun ngahontal produktivitas luhur, ningkat prosés reproducibility, sarta nurunkeun total biaya kapamilikan dina garis produksi MOCVD modern.
Services urang
Toko Produk Semixlab
