Nyegah Kontaminasi dina Panyimpenan Suku Cadang Dilapis CVD Kamurnian Tinggi

Masalah ngahasilkeun barang anu bersih bahan baku CVD SiC purity tinggi bagian-bagianna, sareng ngajaga kabersihanna ti mimiti manufaktur dugi ka pamasangan dina sistem epitaksi, ogé penting. Saeutik pisan lebu sareng kontaminasi anu akumulasi nalika panyimpenan tiasa nyababkeun cacad dina wafer, sareng ngirangan hasil nalika produksi nalika sistem dimimitian. Seringna, masalah asalna tina panyimpenan, sanés prosés manufaktur éta sorangan. Salaku conto kontaminasi panyimpenan, insinyur perhatoskeun bagian susceptor anu dibersihkeun parantos kacemar nalika disimpen ku panto bengkel anu kabuka; ketidakstabilan nalika produksi kajantenan nalika alat-alat dibalikkeun deui online.

Standar Bungkusan Cleanroom pikeun Bagian Lapisan CVD SiC sareng CVD TaC

Bungkusan anu leres kalayan kamurnian anu luhur Cvd sic coating or CVD TaC Bagian anu dilapis langkung ti ngan saukur nyegah karusakan fisik; éta pikeun ngajaga permukaan anu bersih anu kahontal nalika palapis. Renik partikel anu teu tiasa katingali ku panon tiasa mangaruhan négatif kualitas wafer nalika epitaksi.

Léngkah munggaran dina prosedur pengemasan naon waé kedah dilaksanakeun di rohangan anu bersih, anu gaduh tekanan positip, sareng lingkungan anu bersih dijaga nganggo saringan hawa anu efisien. Pakéan rohangan anu bersih kedah teras dianggo, kalebet masker, sareng sarung tangan anu bébas bubuk kedah dianggo sepanjang waktos pikeun nyingkahan mindahkeun partikel kulit, lebu atanapi serat kana komponén.

Bahan anu dianggo pikeun bungkus ogé penting pisan. Biasana dua lapisan kantong plastik kamar bersih bakal dianggo pikeun ngajagi komponén dua kali lipat; kumaha oge, pikeun bagian anu sénsitip pisan, bungkus vakum atanapi nitrogén tiasa dianggo pikeun ngaminimalkeun Uap sareng kontaminan atmosfir. Busa pelindung anu dianggo ogé kedah didamel tina bahan anu aman pikeun kamar bersih, ngaluarkeun gas anu handap pikeun nyingkahan kontaminan tambahan anu dileupaskeun tina panyimpenan ka komponén.

Sakali disegel, komponén ngan ukur kedah dipiceun tina lingkungan kemasan di rohangan anu bersih, sanés di bengkel anu kabuka. Muka komponén anu dibungkus teuing tiasa ngotoran deui komponén éta dugi ka komponén éta kedah dibersihkeun deui.

Ku cara dibungkus kalawan bener, komponén-komponén bakal tetep bersih pikeun dipaké dina produksi.

Métode Pangaturan anu Leres pikeun Bagian Epitaksial Grafit Murni Tinggi

Sanaos bagian grafit anu mibanda kamurnian anu luhur katingalina awét pisan, éta condong néwak kokotor, minyak, sareng Uap dina permukaanana. Kontaminan ieu tiasa tetep teu kadeteksi sapanjang umur bagian tapi tiasa mangaruhan epitaksi dina tahap-tahap salajengna.

Ngurus bagian-bagianna kudu salawasna maké sarung tangan nitril anu bébas bubuk jeung bersih. Leungeun anu teu maké baju teu meunang nyabak bagian-bagian éta, sabab minyak kulit bakal napel kana beungeut bagian éta dina jumlah anu saeutik pisan sarta hésé dipiceun tina beungeutna engké.

Bagian-bagian ogé kedah diurus kalayan ati-ati. Ngan saukur ngangkat éta tina méja ku sisi-sisina tiasa nyésakeun retakan mikroskopis dina bagian éta anu panginten henteu langsung katingali tapi tiasa muncul saatos sababaraha siklus pemanasan, sareng sanaos anjeun henteu salawasna tiasa ningali éta, tiasa waé aya partikel anu dihasilkeun dina réaktor.

Anjeun ogé kedah aya dina lingkungan anu cocog sareng bersih pikeun aplikasi khusus pikeun penanganan. Upami bagian-bagian diurus sareng ditinggalkeun dina méja damel, anjeun teu kedah ngantepkeun éta disimpen dina méja logam, kardus atanapi permukaan plastik atah sabab ieu tiasa ngaluarkeun lebu sareng serat kana bagian éta.

Aliran hawa ogé kedah diperhatoskeun nalika nanganan bagian-bagian. Lebu anu ditiup kana bagian tina kipas, atanapi upami panto dibuka, tiasa ngumpul dina bagian-bagian éta, sareng ku kituna seueur fasilitas ngalaksanakeun operasi penanganan bagian-bagianna dina bangku aliran laminar atanapi di daérah anu bersih.

Résiko Uap sareng Oksidasi Salila Panyimpenan Komponen Jangka Panjang

Sanaos bagian-bagianna (anu didamel tina grafit anu murni) sigana gaduh kualitas anu luhur pisan; kokotor, minyak, sareng Uap cai relatif gampang némpél kana permukaan bagian-bagian éta sareng tetep teu katingali sapanjang umur bagian tapi mangaruhan epitaksi dina tahap salajengna.

Nanganan bagian-bagian éta kedah nganggo sarung tangan nitril anu bébas bubuk, bersih, sareng henteu kedah dirampa ku leungeun kosong, sabab minyak kulit bakal napel kana permukaan bagian éta dina jumlah anu sakedik pisan, sareng hésé pisan dicabut deui engké.

Ogé bagian-bagianna kedah salawasna diurus kalayan ati-ati pisan. Malahan ngan saukur nyokot bagian-bagian tina bangku tina sisi-sisina tiasa nyababkeun retakan mikroskopis anu kabentuk dina bagian éta anu moal katingali dugi ka bagian éta parantos ngalangkungan sababaraha siklus termal, sareng sanaos anjeun moal tiasa ningali retakan éta, éta tiasa nyababkeun partikel anu dihasilkeun dina réaktor.

Anjeun ogé kedah nyobian aya dina lingkungan anu leres sareng bersih pikeun aplikasi anu dilakukeun. Nanganan sareng ninggalkeun bagian-bagian anu ngagolér dina bangku ngan ukur tiasa ditampi upami henteu ditinggalkeun dina bangku logam, kardus atanapi permukaan plastik anu teu acan disiapkeun, sabab partikel lebu bakal murag kana bagian éta.

Aliran hawa ogé kedah diperhatoskeun, partikel lebu anu ditiup kana bagian éta ngalangkungan kipas, atanapi ti luar kusabab panto anu muka tiasa napel kana bagian éta, sahingga seueur perusahaan nganggo bangku Laminar Flow atanapi rohangan anu bersih pikeun ngalaksanakeun prosés penanganan bagian ieu.

Protéksi Transportasi pikeun Susceptor Ageung sareng Cakram Ngambang Gas

Susceptor badag jeung cakram gas nu ngambang, sanajan mangrupa komponén badag, tetep bisa ruksak nalika pengiriman lamun teu dirojong kalawan bener.

Kaseueuran karusakan pengiriman asalna tina geter sareng tekanan anu henteu rata, sanés kacilakaan anu ageung. Komponen anu ageung kedah dirojong sapinuhna dina wadah pengiriman sareng naon waé miring atanapi tekanan ka hiji sisi nalika ngarambat salami waktos anu lami tiasa nyababkeun komponén melengkung anu bakal ngabahayakeun pikeun réaktor.

Pikeun ngajagi bagian-bagian anu ageung, éta kedah dirojong sapinuhna ku bahan kemasan anu bersih pikeun nyebarkeun beban ka sakumna komponén di jero peti sareng dibungkus pikeun nyerep geteran.

Panangtayungan tina kalembaban ogé kedah diperhatoskeun. Ku cara ngalebetkeun kantong jero anu disegel sareng pengering, urang tiasa nyingkahan akumulasi kondensasi salami prosés pengepakan, pambongkaran, sareng pengiriman.

Peti ogé kedah dipindahkeun nganggo forklift sareng alat angkat bari dijaga tetep rata ogé ngajaga tekanan dina peti supados henteu ngageser beban internal salami fase transportasi.

Standar Inspeksi Anu Lebet Sateuacan Pamasangan Réaktor Epitaksi

Kasempetan terakhir pikeun néwak masalah dina hiji bagian sateuacan diasupkeun kana réaktor epitaksi nyaéta nalika bagian éta ditampi.

Sanaos aya bagian anu katingalina bersih saatos disimpen sareng dikirim, masih tiasa aya kontaminan atanapi cacad alit anu panginten moal kapendak dugi ka réaktorna panas.

Prosés pamariksaan kedah dilaksanakeun di tempat anu bersih, dimana bungkusna tiasa dibuka tanpa ngebul. Bagian éta teras tiasa ditingali sacara saksama dina lampu anu kuat pikeun milarian cacad, parobahan warna, juru anu retak, atanapi lapisan anu rusak.

Komponen ageung sapertos cakram gas anu ngambang sareng susceptor ogé kedah dipariksa pikeun kerataan sareng dimensi anu leres sabab parobahan alit kana duanana tiasa nyababkeun masalah kinerja. Seueur fasilitas ogé bakal mariksa kabersihan permukaan, sateuacan nempatkeun bagian éta kana réaktor.

Ngagaduhan rékaman anu lengkep pikeun unggal bagian, kalebet nomer seri sareng gambar, ogé tiasa janten bantosan anu saé nalika hiji bagian tungtungna gagal atanapi nyababkeun masalah engké.

Inspeksi anu lengkep teu ngan saukur nolak narima bagian anu goréng. Éta ngamungkinkeun insinyur pikeun mendakan masalah leutik sateuacan janten masalah produksi, ngamungkinkeun stabilitas prosés anu langkung saé, kagagalan anu teu kaduga anu langkung sakedik, sareng hasil wafer anu langkung luhur.