Bagian quartz

Kuarsa masih aya di mana-mana dina pamrosésan semikonduktor. Ieu sanés barang anyar, tapi tiasa dipercaya, sareng kalolobaan pabrik wawuh kana kumaha kalakuanana. Salami kamurnian dikontrol, éta tiasa dianggo kalayan saé dina léngkah difusi, oksidasi, sareng beberesih.

Seueur bagian kuarsa anu dianggo dina sistem tungku atanapi alat PECVD. Harepan utama nyaéta stabilitas — teu kedah umur panjang, tapi kinerja anu tiasa diprediksi. Éta biasana cekap saé pikeun seueur prosés standar.

Tangtosna, kuarsa ngagaduhan watesna. Éta tiasa langkung gancang ruksak dina kaayaan anu tangtu, khususna dibandingkeun sareng SiC. Tapi kusabab éta relatif gampang didapet sareng henteu mahal teuing, jalma-jalma masih sering nganggo éta.