EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
0200-10377 Cincin Tunggal 195mm DPS Chamber
Di Semixlab, kami nyayogikeun komponén keramik semikonduktor kinerja tinggi anu direkayasa pikeun lingkungan pamrosésan plasma anu nungtut. Kamar DPS AMAT 0200-10377 Ring Single 195mm kami dirancang pikeun sistem etsa DPS Bahan Terapan (AMAT), anu ngahasilkeun stabilitas plasma anu saé, panyalindungan kamar, sareng keseragaman prosés pikeun manufaktur semikonduktor canggih.
gambaran
Diproduksi nganggo bahan keramik kelas semikonduktor anu kualitasna luhur sareng téknologi mesin presisi, komponén cingcin keramik ieu nawiskeun résistansi anu luar biasa kana erosi plasma, siklus termal, sareng generasi partikel dina lingkungan etsa garing anu agrésif.
AMAT 0200-10377 Ring Single 195mm DPS Chamber nyaéta komponén cingcin keramik presisi anu utamina dianggo dina sistem AMAT DPS (Decoupled Plasma Source) pikeun aplikasi pamrosésan wafer 200mm.
Fitur konci:
● Bahan keramik anu kualitasna luhur
● Kompatibilitas plasma RF anu saé pisan
● Kontaminasi sareng generasi partikel anu handap
● Résistansi erosi plasma anu unggul
● Stabilitas mékanis sareng termal anu luhur
● Mesin presisi pikeun integrasi ruang DPS
Kalungguhan dina Sistem DPS AMAT
Dina sistem etsa plasma AMAT DPS, Komponen Keramik Ring Single 195mm fungsina salaku bagian kontrol plasma sareng panyalindungan ruang anu penting.
Kontrol Tepi Plasma
Cingcin keramik ngabantosan ngaoptimalkeun distribusi plasma caket ujung wafer, ningkatkeun keseragaman etsa sareng ngaminimalkeun panyimpangan prosés ujung salami pamrosésan plasma kapadetan luhur.
ESC & Protéksi Kamar
Dipasang di sabudeureun area chuck éléktrostatik (ESC), cincin ieu bertindak salaku panghalang pelindung ngalawan kimia plasma anu agrésif, ngabantosan ngirangan erosi ruang sareng manjangkeun umur komponén.
Stabilisasi Plasma RF
Kalayan karakteristik dielektrik anu stabil, cingcin keramik nyumbang kana ningkatna kopling RF sareng stabilitas plasma di jero rohangan DPS.
Ngurangan kontaminasi
Struktur keramik anu mibanda kamurnian anu luhur ngaminimalkeun generasi partikel sareng kontaminasi logam, ngadukung sarat kabersihan prosés semikonduktor canggih.
Aplikasi Khas dina Prosés Semikonduktor
Kamar DPS AMAT 0200-10377 Ring Single 195mm loba dipaké dina aplikasi etsa garing jeung pamrosésan plasma canggih, kaasup:
Ukiran Dielektrik: Ngarojong paripolah plasma anu stabil salami prosés étsa lapisan oksida sareng dielektrik.
Étsa Oksida & Kontak: Ngabantosan ningkatkeun keseragaman étsa sareng kontrol ujung wafer dina kontak sareng ngalangkungan prosés formasi.
Ukiran Logam: Nyayogikeun panyalindungan rohangan sareng stabilitas prosés dina lingkungan ukiran plasma logam.
Pamrosésan Plasma Canggih: Cocog pikeun aplikasi plasma kapadetan luhur anu meryogikeun kontaminasi partikel anu handap sareng kinerja RF anu stabil.
Manufaktur Semikonduktor 200mm: Dioptimalkeun pikeun sistem AMAT DPS anu ngolah wafer 8 inci dina fab semikonduktor.
Naha Semixlab?
Semixlab spesialisasi dina komponén keramik semikonduktor canggih pikeun etsa plasma, déposisi, sareng alat pamrosésan termal.
Urang nyadiakeun:
● Bahan keramik kelas semikonduktor
● Kamampuh ngolah barang sacara presisi
● Bagian semikonduktor anu cocog sareng OEM
● Kontrol kualitas anu stabil
● Solusi keramik khusus
Misi kami nyaéta pikeun ngadukung pabrik semikonduktor kalayan solusi bahan anu tiasa dipercaya sareng berkinerja tinggi pikeun peralatan fabrikasi wafer generasi salajengna.
Services urang
