EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
MOCVD SiC coated grafit susceptor
| Tempat Asal: | Cina |
| Ngaran Brand: | Semixlab |
| Number Model: | MSCGS-01 |
| sertifikasi: | ISO9001 |
| Kuantitas Orde minimum: | 1 set |
| harga: | Kontak pikeun Kutipan ngaropéa |
| Rincian bungkusan: | pakét ékspor baku |
| Waktos pangiriman: | 35-40 Poé Saatos Konfirmasi Orde |
| Sarat pamayaran: | T / T |
| Supply Pangabisa: | 1000 sét / Bulan |
gambaran
1. Hirup diperpanjang ku 300% +
Téknologi lapisan panyangga ngamungkinkeun jumlah siklus shock termal langkung ageung tibatan 5,000 kali (kirang ti 1,500 kali kanggo produk konvensional).
Suhu operasi kontinyu bisa ngahontal 1650 ° C, sarta palapis nu nembongkeun euweuh retakan atawa peeling.
2. Nol polusi jaminan
The purity of SiC palapis nyaeta 6N kelas (total jumlah pangotor logam <0.5ppm).
Lulus tés sékrési partikel standar SEMI (Kabersihan Kelas 10).
3. Médan termal pamutahiran uniformity
Beda hawa dina beungeut dasar kirang ti ± 2 ° C (data diukur pikeun Φ300mm spésifikasi).
Ngarojong pemanasan gancang (20 ° C / s) tanpa deformasi termal.
4. lalawanan korosi alus teuing
Tahan ka korosi ku gas sapertos H2, NH3, sareng TMAl, kalayan umur jasa langkung ti 18 bulan.
Laju parobahan kasar permukaan kirang ti 5% (diuji saatos 100 siklus prosés).
5. Cocog jeung model mainstream sakuliah dunya
Ngarojong kustomisasi dina diaméter mimitian ti 50 nepi ka 500mm.
6. optimasi ongkos siklus Kahirupan pinuh
Daur pangropéa parantos diperpanjang dugi ka tilu kali tina produk biasa.
Laju ngahasilkeun wafers epitaxial geus ngaronjat ku 2-3%.
Kakuatan perusahaan
Semixlab Technology Co., Ltd gaduh 2 pusat R&D, 2 pangkalan produksi, 12 jalur produksi, 150+ karyawan, sareng investasi R&D langkung ti 30%. perenah produk urang utamana dipaké dina LED, IC circuit terpadu, semikonduktor generasi katilu, photovoltaic jeung industri lianna. Semixlab gaduh R&D anu kuat, produksi sareng kamampuan nguji sareng verifikasi terpadu. Dina waktos anu sami, kami terus ningkatkeun téknologi sareng alat kami kalayan investasi puluhan juta per taun.
spésifikasi
Parameter kinerja konci
Parameter proyék
Bahan dasarna SGL isostatic dipencet grafit
ketebalan palapis: 80-200μm (customizable)
The purity of palapis nyaeta ≥99.9999%
Kapadetan: 1.85-1.90 g / cm³
Konduktivitas termal: 125 W/m·K (RT)
kakuatan Flexural ≥45 MPa
Suhu operasi ≤1800 ° C (atmosfir inert)
Sistem jaminan kualitas
Traceability pinuh-prosés: Ngarékam data lengkep ti substrat grafit ka prosés palapis.
Deteksi presisi: analisis palapis SEM / EDS, deteksi bocor spéktrométri massa hélium, tés shock termal suhu luhur.
| Sipat fisik dasar palapis CVD SiC | |
| sipat | Niley has |
| Struktur Kristal | FCC β fase polycrystalline, utamana (111) orientasi |
| dénsitas | 3.21 g / cm³ |
| teu karasa | 2500 Vickers karasa (500g beban) |
| Ukuran Gandum | 2 ~ 10μm |
| Kasucian Kimia | 99.99995% |
| Kapasitas Panas | 640 J·kg-1·K-1 |
| Suhu Sublimation | 2700 ℃ |
| Kakuatan Flexural | 415 MPa RT 4-titik |
| Modulus ngora | 430 Gpa 4pt ngalipet, 1300 ℃ |
| Konduktivitas termal | 300W·m-1·K-1 |
| Ékspansi Thermal (CTE) | 4.5 × 10-6K-1 |
Sipat fisik dasar palapis CVD SiC:
aplikasi
Skenario aplikasi atawa alat: parabot Aixtron Epi
Skenario aplikasi inti
● manufaktur chip LED: GaN bulao / tumuwuhna epitaxial LED bodas.
● Semikonduktor kakuatan: Alat kakuatan SiC / GaN (MOSFET, HEMT).
● Alat frékuénsi radio 5G: substrat chip frekuensi radio gelombang mikro frekuensi tinggi.
● Dioda laser: VCSEL, prosés epitaxial laser ujung-emitting.
● Bungkusan canggih: Déposisi pilem ipis semikonduktor precision tinggi.
Tinjauan ranté industri epitaksi chip semikonduktor:
Services urang
Toko Produk Semixlab
